短パルスレーザーによる金属箔加工

フェムト秒レーザー

レーザーの発振動作は、レーザーが連続的に発振する連続波発振動作と、レーザーが断続的に発振するパルス発振動作に分類されます。パルス発振動作をするレーザーはパルスレーザーと呼ばれています。
フェムト秒レーザーとは、レーザーのパルス幅がフェムト秒単位で発振される超短パルスレーザーです。強度が高いため照射領域に急激にエネルギーを与えることが可能であり、照射した領域以外の熱による損傷を抑えることが可能です。そのため、微細加工や加工に大きなエネルギーが必要な材料の加工などに用いられます。

ロングパルスレーザー

超短パルスレーザーは繊細な加工に向いていますが、加工の種類によってはロングパルスレーザーにより高品質と効率性を両立することが可能です。パルス幅が長いほど1ショットで加工できる深さが大きくなり、仕上がりもきれいになります。

水レーザー

水レーザーでは、約φ100μmのノズルから噴射されたウォータージェット内をレーザーが反射を繰り返しながら高速で流れます。ウォータービームがワークに衝突すると、レーザーが材料を溶融するとともに、水によって冷却・洗浄されます。
水レーザーの特徴としては、熱による損傷やバリが少ないこと、破壊強度低下や酸化を抑制可能なこと、焦点距離がないためウォータージェットの乱れがない限り厚い材料も下部までレーザーが到達することなどがあげられます。
これらの特徴を活かして、半導体素材や金属など幅広い材料の加工が可能です。